Ključni materijali korišteni u metama za raspršivanje tankoslojnih premaza

Proces raspršivanja isparava izvorni materijal, nazvan meta, kako bi se na proizvode poput poluvodiča, stakla i zaslona nanio tanki, visokoučinkoviti film. Sastav mete izravno definira svojstva premaza, što odabir materijala čini ključnim.

Koristi se širok raspon metala, a svaki je odabran zbog specifičnih funkcionalnih prednosti:

Temeljni metali za elektroniku i međuslojeve

Visokočisti bakar cijenjen je zbog svoje iznimne električne vodljivosti. Ciljevi od 99,9995% čistog bakra ključni su za stvaranje mikroskopskih ožičenja (međusobnih veza) unutar naprednih mikročipova, gdje je minimalni električni otpor najvažniji za brzinu i učinkovitost.

Visokočisti nikal služi kao svestrani radni konj. Primarno se koristi kao izvrstan adhezijski sloj i pouzdana difuzijska barijera, sprječavajući miješanje različitih materijala i osiguravajući strukturni integritet i dugovječnost višeslojnih uređaja.

Vatrostalni metali poput volframa (W) i molibdena (Mo) cijenjeni su zbog svoje visoke otpornosti na toplinu i stabilnosti, često se koriste kao robusne difuzijske barijere i za kontakte u zahtjevnim okruženjima.

Specijalizirani funkcionalni metali

Visokočisto srebro nudi najveću električnu i toplinsku vodljivost od svih metala. To ga čini idealnim za nanošenje visoko vodljivih, prozirnih elektroda u zaslonima osjetljivim na dodir i briljantno reflektirajućih premaza niske emisije na energetski štedljivim prozorima.

Plemeniti metali poput zlata (Au) i platine (Pt) koriste se za visoko pouzdane, korozijski otporne električne kontakte i u specijaliziranim senzorima.

Prijelazni metali poput titana (Ti) i tantala (Ta) ključni su zbog svojih izvrsnih svojstava prianjanja i barijere, često tvoreći temeljni sloj na podlozi prije nanošenja drugih materijala.

Iako ovaj raznoliki skup materijala omogućuje modernu tehnologiju, performanse bakra za vodljivost, nikla za pouzdanost i srebra za vrhunsku reflektivnost ostaju neusporedive u njihovim odgovarajućim primjenama. Konzistentna kvaliteta ovih metala visoke čistoće temelj je visokoučinkovitih tankoslojnih premaza.


Vrijeme objave: 24. studenog 2025.